Asis Rodriguez

Segunda generación de sensores MEMS 3D

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Adam ChidleyArtículo escrito por Adam Chidley, European Senior Product Manager de Componentes Pasivos de Avnet Abacus sobre las mejoras que la segunda generación de sensores MEMS 3D aporta para el rendimiento en automoción e IMUs industriales.

Cuando Murata adquirió VTI Technologies, especialista finlandés en productos MEMS, y cambió su nombre a Murata Electronics Oy a comienzos de 2012, también obtuvo su tecnología MEMS 3D que había demostrado excelencia en rendimiento y fiabilidad en entornos adversos.

Aunque VTI Technologies era el líder de la industria en acelerómetros lowg para sistemas de seguridad en el automóvil y de control de ritmo cardiaco (CRM) en el sector sanitario, bajo la denominación de Murata Electronics Oy ha seguido desarrollando productos innovadores para muchas más aplicaciones.

Las unidades de medición inercial (IMU) industriales se han convertido en un área de gran crecimiento, ya que los sensores empiezan a proliferar en factorías y maquinaria industrial, así como en el transporte y otros sectores.

Productos para la segunda generación de sensores MEMS 3D

segunda generación de sensores MEMS

Sensores SCC2000

Uno de los últimos productos en llegar al mercado es la serie SCC2000, que incluye un acelerómetro 2g o 6g de tres ejes, junto a un giroscopio de eje “X” o “Z” y un filtro paso bajo de 10 o 60 Hz con SPI configurable. La disponibilidad del giroscopio de eje “Z” en el mismo chip es muy importante porque permite implementar con 6 grados de libertad en una PCB.

segunda generación de sensores MEMS

Inclinómetro SCA103T

La deriva en la temperatura de compensación del acelerómetro se sitúa en ±6 mg para el sensor 2g y en ±12 mg para la versión 6g. El rango del giroscopio es de ±125°/s con una sensibilidad de 50 LSB/°/s (±300°/s, disponible bajo petición), mientras que su deriva de temperatura de compensación típica se encuentra en ±0.5°/s. La estabilidad bias a corto plazo con offset es de 1 o 2°/h para los giroscopios de eje “X” y “Z”, respectivamente.

Otras novedades en el catálogo de la segunda generación de sensores MEMS son el inclinómetro SCA103T con un impresionante rango de medición (de ±30°) y resolución de 0.0013°, y el giroscopio SCR1100 con la menor inestabilidad de su clase: <1°/h.

giroscopio SCR1100

Giroscopio SCR1100

Estos niveles de rendimiento hasta ahora sólo eran posibles en módulos más costosos (la serie SCC2000 se presenta en un encapsulado SMD de 24 pines). Pero ahora, Murata Electronics Oy puede proporcionar estas prestaciones y, al mismo tiempo, garantizar la resistencia al choque, la vibración y las temperaturas extremas en aplicaciones de automoción y entornos industriales. La respuesta se encuentra en el trabajo de ingeniería que supone su tecnología de diseño MEMS 3D, procesos de semiconductores y métodos de encapsulado para lograr el mejor resultado posible.

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