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Microscopio JSM-IT800 para observación de semiconductores

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Con una gran versatilidad, el microscopio JSM-IT800 para observación de semiconductores se presenta en cinco modelos distintos.

La japonesa JEOL presenta en sociedad el JSM-IT800, su nuevo microscopio de emisión de electrones de campo Schottky, el cual está pensado para su uso en la observación de dispositivos semiconductores.

Utiliza un cañón de emisión de electrones In-lens Schottky Plus preparado para su uso sobre el terreno, el cual lo dota de una capacidad de imagen de alta resolución, y se combina con un innovador sistema de control óptico del flujo de electrones bautizado como Neo Engine.

Y, todo ello, coronado con la interfaz gráfica de usuario (GUI) SEM Center, que agiliza el mapeo gracias a un espectrómetro dispersivo de rayos X embebido de la propia JEOL.

El nuevo microscopio JSM-IT800 para observación de semiconductores facilita el reemplazo de las lentes del objetivo del SEM como un módulo, con lo que ofrece versiones distintas para satisfacer las diferentes necesidades de usuarios distintos.

Modelos y sus posibilidades

Lo tenemos disponible en cinco versiones distintas según el objetivo de la lente: una versión con lente híbrida (HL, por sus siglas en inglés) que es de propósito general FE-SEM, una versión con lentes superhíbridas (SHL/SHLs, dos versiones con distintas funciones) para observación y análisis de una mayor resolución, y la nueva versión semi-in-lens (también dos versiones con distintas funciones) para la observación de dispositivos semiconductores.

También podemos equiparlo con un nuevo SBED (Scintillator Backscattered Electron Detector), que habilita la observación de imágenes en tiempo real con una respuesta rápida y produce un alto contraste entre materiales incluso a bajos voltajes de aceleración.

Entre sus capacidades, contamos con la integración mejorada entre el cañón de electrones y las lentes del condensador de baja aberración, lo cual proporciona un mayor brillo. Gracias al Neo Engine, los usuarios pueden realizar una observación estable incluso cuando distintas condiciones analíticas o de observación sufren cambios.

Microscopio JSM-IT800 para observación de semiconductores

A nivel de software, podemos mejorarlo mediante la instalación y uso de add-ons, tales como el SMILENAVI para asistir y proporcionar una ruta de aprendizaje a los nuevos usuarios, o el filtro LIVE-AI que incrementa la calidad de las imágenes adquiridas.

En el sitio web de la compañía fabricante podemos encontrar el conjunto completo de las especificaciones técnicas de este aparato.

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