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4100T Termómetro de fibra óptica multicanal para proceso de semiconductores

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El pirómetro 4100T, que sustituye al OR4000T, aporta mejoras en precisión y velocidad.

Advanced Energy, fabricante de soluciones de conversión, medida y control de energía, introduce el pirómetro multicanal Sekidenko 4100T, un modelo que se convierte en el reemplazo del modelo OR4000T de la compañía.

El termómetro de fibra óptica (OFT) 4100T proporciona una precisión de medida de temperatura “excepcional”, un mayor rango de temperatura y una velocidad de lectura máxima (sin contacto) para procesos de semiconductores y aplicaciones de película delgada.

“Nuestros pirómetros son usados por los principales OEM de semiconductores. El 4100T extiende nuestro liderazgo con numerosas mejoras con respecto al modelo OR4000T, permitiendo que los clientes alcancen niveles desconocidos de control de proceso y capacidad de fabricación”, comenta Jeff Hebb, vicepresidente de Marketing y Aplicaciones de Advanced Energy. “Como un sustituto del OR4000T, el 4100T también soporta comunicaciones EtherCAT, serie y USB”.

Funcionamiento del termómetro

Es posible medir hasta cuatro temperaturas diferentes simultáneamente con el 4100T, lo que contribuye a reducir el número de cajas de control requeridas para control multipunto, el formato y los costes.

La velocidad de hasta 1 kHz por canal posibilita una respuesta térmica más rápida para un mayor control de temperatura y uniformidad de aplicaciones como procesamiento térmico, laser annealing, deposición de capas atómicas (ALD) y otras tecnologías de deposición avanzadas.

El OFT multicanal con longitud de onda configurable proporciona precisión, capacidad de repetición y rapidez a las tareas de medida más demandadas.

Los termopares tradicionales y otros sensores por contacto son poco deseables en aquellas aplicaciones donde el contacto físico con la oblea puede causar daños, contaminación o errores de medida por los efectos de transferencia térmica. El 4100T mide la temperatura directamente con una precisión de ±1,5 °C in situ sin contacto con el objeto.

4100T Termómetro de fibra óptica multicanal para procesos de semiconductores

Aparte de eliminar el contacto potencial, el 4100T también es una alternativa óptima para aplicaciones donde la oblea se encuentra en movimiento o está siendo procesada con temperaturas muy altas.

Existe más información del termómetro de fibra óptica en este enlace.

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