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UL6000 Fab PLUS Detector de fugas para semiconductores

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El detector de fugas UL6000 Fab PLUS con función I∙RISE inteligente realiza una prueba integral en 10 segundos, ahorrando tiempo y problemas.

INFICON, fabricante de dispositivos e instrumentos de prueba de fugas, presenta la última generación de detectores de fuga móviles para uso en la producción de semiconductores, paneles solares y pantallas planas.

La nueva versión UL6000 Fab PLUS aporta mejoras en rapidez con respecto al modelo UL6000 Fab, gracias a la función I∙RISE inteligente.

Un proceso de detección de fuga siempre es seguido por una prueba de fuga integral de la herramienta de producción con una prueba rateofrise. El UL6000Fab PLUS ahora realiza ambos trabajos: la detección de fuga y la medición de presión.

I-RISE aporta grandes ventajas. Un sistema convencional suele usar un sensor de presión externo y el proceso puede tardar minutos e incluso horas, pero la función I∙RISE completa la prueba en 10 segundos. Esto contribuye a minimizar las interrupciones de producción o los periodos de inactividad.

Todos los modelos UL6000 Fab cuentan con una bomba turbomolecular de prueba de fuga de helio, que bombea helio a más de 36 litros por segundo para ofrecer una respuesta extremadamente rápida, con tiempos de caída y subida muy cortos del índice de fuga.

INFICON también ha instalado una bomba de muy altas prestaciones con una capacidad de bombeo de 36 m³ por hora, que permite tiempos de evacuación mínimos. Su velocidad de bombeo de aire es mucho mayor que con otras bombas roots, particularmente en el rango de vacío aproximado. Esto permite ahorrar varios minutos por prueba, especialmente para las herramientas de producción de mayores dimensiones con volúmenes entre 50 y 1000 litros o más.

La sensibilidad de la serie UL6000 Fab es otro de sus elementos diferenciadores: puede detectar fugas desde 5 x 10-12 mbar∙l/s.

Ahorro de tiempo

Los equipos de vacío y los semiconductores se verifican continuamente mediante pruebas.

UL6000 Fab PLUS Detector de fugas para semiconductores

Si se detecta una fuga durante estas pruebas integrales de fugas, a menudo, resulta difícil determinar cuál de las muchas conexiones, pasamuros, soldaduras y válvulas está causando la fuga.

Por ello, el UL6000 Fab PLUS se conecta a las cámaras y se realiza una prueba de rociado de helio y de tasa de aumento para localizar las posibles fugas y determinar su número.

Existe más información de los detectores de fuga móviles en este enlace.

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