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Sistemas de metrología e inspección

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Los nuevos sistemas de metrología e inspección para encapsulado de semiconductores WX3000 incorporan tecnología de sensor MRS con nano resolución.

CyberOptics Corporation tiene previsto mostrar sus nuevos sistemas de metrología e inspección WX3000 2D y 3D con tecnología Multi-Reflection Suppression (MRS) en la feria virtual SEMICON West, que se celebra del 20 al 23 de julio.

Incorporando el sensor NanoResolution MRS, estos sistemas permiten la combinación de velocidad, resolución y precisión para encapsulado avanzado y a nivel oblea con el objetivo de mejorar el rendimiento y la productividad.

Con una velocidad el doble o el triple de rápida que otras alternativas en el procesamiento de datos de 75 millones de puntos de datos 3D por segundo, los sistemas WX3000 con sensor NanoResolution MRS proporciona un rendimiento de más de veinticinco obleas por hora.

La metrología y la inspección 2D y 3D se pueden completar simultáneamente a elevada velocidad con respecto a métodos alternativos más lentos que requieren dos escaneados separados.

El sensor NanoResolution MRS, por su parte, identifica y rechaza las múltiples reflexiones causadas por superficies brillantes y espejadas. La supresión de estos reflejos resulta esencial para lograr unas medidas precisas.

“Ante la creciente complejidad y variedad de encapsulados avanzados, aumenta la necesidad de sistemas de metrología e inspección 2D y 3D”, afirma el Dr. Subodh Kulkarni, Presidente y CEO de CyberOptics. “Nuestras soluciones WX3000 con MRS no solo dota de mejoras en resolución y precisión, sino que es mucho más rápida que tecnologías alternativas”.

Posibles y diferentes tipos de utilización

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Los sistemas WX3000 están diseñados para varias aplicaciones de encapsulado a nivel de oblea y avanzado, incluyendo bombas de oblea, bolas y bombas de soldadura, bombas de oro y bases de cobre. Proporcionan un rendimiento superior desde 25 micras, destacando altura de bomba, coplanaridad, diámetro y forma.

CyberOptics lanzará un sistema WX3000 para obleas de 8 y 12” y otro sistema WX3000 para obleas de 6 y 8”.

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