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Sensores de presión basados en MEMS

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Sensores de presión basados en MEMS

Melexis ha presentado dos nuevos sensores de presión basados en MEMS que combinan una alta sensibilidad y una sólida linealidad. El MLX90815 y el MLX90816, totalmente homologados para el automóvil (superan los requisitos de AEC-Q100), son dispositivos microelectromecánicos (MEMS) discretos para medida de presión absoluta en entornos de trabajo exigentes.

El MLX90815 está diseñado para ofrecer unas prestaciones óptimas en la determinación de presiones absolutas entre 0 y 30 bar, mientras que el MLX90816 cubre presiones absolutas a fondo de escala entre 30 bar y 50 bar. Ambos sensores de presión basados en MEMS se caracterizan por una desviación máxima de su linealidad de solo 0,2% del fondo de escala. La sensibilidad típica para el MLX90815 es de 1,5 mV/V/bar y para el MLX90815 es de 0,5 mV/V/bar.

El elemento sensor incorporado a cada uno de estos dispositivos MEMS consiste en un puente de Wheatstone piezorresistivo conectado a una membrana de presión de silicio micromecanizada y fabricada utilizando la tecnología de proceso propietaria de Melexis. Dado que la presión se aplica a la membrana, se genera una tensión diferencial entre las salidas del puente de Wheatstone mientras se aplica una tensión de polarización a las entradas del puente.

Aplicaciones para los sensores de presión basados en MEMS

Los sensores de presión basados en MEMS cuentan con el soporte de los chips interfaces para sensores de altas prestaciones de la propia compañía (como el MLX90320) para llevar a cabo el acondicionamiento de la señal de salida. Estos sensores están especialmente indicados para diversas aplicaciones de monitorización de la presión de los neumáticos en el automóvil, así como en controles de procesos industriales, electrodomésticos, equipos médicos y dispositivos electrónicos de consumo.

Con un rango de temperaturas de trabajo en ambos casos de -40 °C a 150 °C, los nuevos sensores de presión basados en MEMS son capaces de ofrecer un funcionamiento estable bajo las condiciones de trabajo más adversas. Estos dispositivos se pueden emplear directamente en medios convencionales non corrosivos/no agresivos o bien se pueden incorporar a módulos sensores rellenos de aceite para aumentar su robustez.