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Proyecto Lab4MEMS II de tecnología MEMS óptica

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Proyecto Lab4MEMS II de tecnología MEMS óptica

STMicroelectronics ha confirmado su participación en Lab4MEMS II, una extensión del exitoso proyecto Lab4MEMS, anunciado en abril de 2013.

Lab4MEMS II se centra en Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems (MOEMS) que combinan MEMS con micro-óptica para “sentir” o manipular señales ópticas usando sistemas mecánicos, ópticos y eléctricos.

El proyecto original, por su parte, mantiene el énfasis en el desarrollo de una línea piloto para dispositivos MEMS de próxima generación con tecnologías avanzadas, como materiales piezoeléctricos o magnéticos y encapsulados 3D.

Ambos proyectos cuentan con el respaldo de la Iniciativa Conjunta (JU) del Consejo Asesor de la Plataforma Nanoelectrónica Europea (ENIAC), una colaboración entre organismos públicos y entidades privadas.

Lab4MEMS II tiene un presupuesto de 26 millones de euros y cuenta con una veintena de partners industriales y académicos en nueve países europeos. Basándose en el primer programa. La extensión está encabezada por ST como coordinador para ofrecer sus competencias de fabricación y experiencia técnica y organizativa a la hora de coordinar los esfuerzos y sacar el máximo potencial a los MOEMS.

Con casi mil patentes relacionadas con MEMS, más de ocho billones de dispositivos vendidos y capacidad de producir más de cuatro millones de dispositivos MEMS diarios, ST se convierte en el líder ideal en iniciativas de investigación en Europa.

El proyecto Lab4MEMS II pretende fomentar el diseño, la fabricación y el test de una amplia variedad de dispositivos, incluyendo switches ópticos, arrays de micro-espejos, conexiones (cross-connects) ópticas, láseres y micro lentes que usan micro-óptica y tecnologías de micromecanizado estándar para miniaturizar y construir sistemas ópticos avanzados.

MOEMS es la plataforma perfecta para futuros productos comerciales, como switches ópticos, dispositivos con micro-espejos y displays dinámicos, dispositivos biestables y obturadores ópticos para micro-proyectores, micro-escáneres láser, HMI de próxima generación y micro-espectrómetros. Uno de los objetivos del proyecto es optimizar la producción de espejos duales monoeje y aprovechar las oportunidades de desarrollo de espejos de doble eje.

Lab4MEMS II es un proyecto Key Enabling Technology (KET) Pilot-Line de la ENIAC JU para poder desarrollar tecnologías y áreas de aplicación con impacto positivo en la sociedad. “La agenda de investigación de ENIAC JU se alinea con los valores y el compromiso de ST para incrementar la calidad de vida de las personas”, afirma Roberto Zafalon, Responsable de Programas Europeos de I+D de STMicroelectronics.

La línea piloto para Lab4MEMS II ampliará las instalaciones de producción de oblea de 200 mm de ST en Agrate Brianza (Italia) para volúmenes superiores e incorporará tecnologías ópticas. Además, incrementará el know-how al combinar el talento científico con la capacidad de diseñar y fabricar una amplia gama de sistemas “micro” y “nano” inteligentes basados en silicio. Aun así, el proyecto evaluará los beneficios potenciales y el impacto de una futura transición a obleas de 300 mm.

El ENIAC JU es una alianza público-privada de los miembros ENIAC, la Unión Europea y la Asociación para las Actividades Nanoelectrónicas Europeas (AENEAS). Está aportando 1.8 billones de euros en diversos proyectos de I+D, que selecciona tras procesos de evaluación. El Lab4MEMS II, coordinado por ST, fue elegido en otoño de 2013 y se inició en noviembre de 2014.

Participantes en el proyecto Lab4MEMS II de tecnología MEMS óptica

Además de ST, Lab4MEMS II cuenta con los siguientes partners: Politecnico di Torino e di Milano; Consorzio Nazionale Interuniversitario per la Nanoelettronica; CNR-IMM MDM; Commissariat Al Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives; ARKEMA SA; University of Malta; Okmetic Oyj; MURATA Electronics; VTT Memsfab Ltd; Teknologian tutkimuskeskus VTT; Aalto University; KLA-Tencor ICOS; Universitatea Politehnica din Bucuresti – CSSNT; Instytut Technologii Elektronowej; Warsaw; Stiftelsen SINTEF; Polewall AS; y Besi Austria GmbH.