Los nuevos modelos de sensores de presión MEMS capacitivos fabricados por Murata y denominados ZPA Series MEMS han sido diseñados con tecnología de sensado capacitivo, que posibilita una precisión absoluta de ±1.0 hPa en un amplio rango de temperatura de -10 a +65 °C (P= de 800 a 1.100 hPa).
Esta tecnología permite un nivel de ruido típico de 1.1 PaRMS y un consumo de corriente de 6.3 µA con un tiempo de conversión de 0.16 segundos.
Diversos usos para los nuevos sensores de presión MEMS capacitivos
La serie ZPA, que también se caracteriza por interfaces de comunicación SPI e I2C, responde a las necesidades de aquellas aplicaciones que demandan alta precisión y elevada eficiencia, como equipos médicos, ascensores, sistemas de navegación en interiores y estaciones meteorológicas.